WAシリーズ【超音波洗浄機セパレート型】WA-600-28/WA-600-40/WA-1200-28/WA-1200-40

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製品の特長

通信機能の搭載で、日々の管理をサポート

RS485通信機能を搭載

RS485通信(MODBUS RTU)により各種設定と動作状況の確認が可能です。
周波数、出力電力の設定や発振状態の読み出しが可能となり、予防保全に活用可能です。

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最適かつ安定した洗浄

デジタル制御方式による周波数自動追尾及び定電力出力により、液深・液温・液種・減圧・ワークなどの多様な負荷変動に対して、最適な周波数と安定した一定出力で超音波発振し、最適洗浄が可能です。

4つの発振モードにより広範囲の汚れ・ワークに対応

1.近接2周波切替発振
キャビテーションの停留を抑制し、遠方まで超音波を伝播させます。
ポンピング作用により、細管内部やスルホール基板の洗浄に適します。

2.FM発振
周波数変調による定在波位置の移動で洗浄ムラを解消します。
キャビテーション発生位置が変化するため、ワークへのダメージが軽減されます。

3.単周波発振
強力なキャビテーションが発生し、頑固な汚れの洗浄に適しています。

4.パルス発振
単周波の出力変調断続発振により、ソフトな洗浄や脱気促進に有効です。

メンテナンス性の向上

オートチューニング機能により同一仕様振動子ユニット交換時、発振器の調整が不要です。
発振器の異常発生時は、安全に超音波の発振を停止するとともに、異常発生原因を診断し、正面パネルランプの点灯パターンによって6種類の異常を識別表示します。トラブル要因が明確になり迅速な解決に有効です。 

用途

●IC、トランジスタ、シリコンウェーハ、フォトマスク等の洗浄
●プリント基板、ハードディスク部品、液晶ガラス等の洗浄
●ピストン、燃料ポンプ、電装部品等の洗浄

主に、28kHzは頑固な汚れの強力洗浄に、40kHzは洗浄ムラやダメージが少ない精密洗浄に適しています。

仕様

【組み合わせ例】

Old WA-TD

発振器

型式 WA-600-28T WA-600-40T WA-1200-28T WA-1200-40T
発振方式 近接2周波切替発振(DUAL)
FM発振(FM)
単周波発振(SINGLE)
パルス発振(PULSE)
定格出力
DUAL/FM 400W 800W
SINGLE 600W 1200W
PULSE MAX 600W MAX 1200W
公称発振周波数 28kHz 40kHz 28kHz 40kHz
電源入力 AC200V,220V、230V、240Vより
選択(注文時) 単相50/60Hz 1200VA
AC200V,220V、230V、240Vより
選択(注文時) 単相50/60Hz 2400VA
インターフェース
アナログ出力 4-20mA電流出力
接点出力 2点 アラーム出力、発振検出出力
外部駆動入力 超音波発振 ON/OFF (接点入力)
RS485通信 MODBUS (RTU)プロトコル *1
外形寸法
WxDxHmm
336x400x125
(突起部は除く、ゴム足含む)
質量 6kg

●DUAL/FM周波数変調幅:中心周波数±1kHz
●出力可変範囲:20~100%
●出力表示:LEDレベルインジケーター(出力に対応)
●使用周囲環境:温度:5~40℃、湿度:5~80%(ただし結露無きこと)
●電源コード長:3.5m
●オプション品:振動子接続端子台

*1 RS485通信により各種設定と動作状況の確認が可能です。

振動子ユニット

*ご要望に応じて、減圧などの特注仕様の振動子ユニットを製作いたします。

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N Type | 投込タイプ

型式 WA-600-28N WA-600-40N WA-1200-28N WA-1200-40N
発振器 型式 WA-600-28T WA-600-40T WA-1200-28T WA-1200-40T
最大許容入力 600W 1200W
公称発振周波数 28kHz 40kHz 28kHz 40kHz
有効輻射面 350x200 420x300
寸法
WxDxHmm
(突起部を除く)
350x200x100 350x200x75 420x300x100 420x300x75
材質 ケース:SUS304 (特注にてSUS316L 対応可)
質 量 14kg 11kg 18kg 14kg

●使用液温度範囲:5~80℃
●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子
●振動子コード長:2.5m(ブレード部 2m) + 出力コード 3.5m

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F Type | 振動板タイプ

型式 WA-600-28F WA-600-40F WA-1200-28F WA-1200-40F
発振器 型式 WA-600-28T WA-600-40T WA-1200-28T WA-1200-40T
最大許容入力 600W 1200W
公称発振周波数 28kHz 40kHz 28kHz 40kHz
有効輻射面 350x200 420x300
寸法
WxDxHmm
(突起部を除く)
390x240x83
t=2.5㎜
390x240x57
t=2.5㎜
460x340x83
t=2.5㎜
460x340x57
t=2.5㎜
材質 板:SUS304(特注にてSUS316L対応可)
パッキン:EPDM t=3mm(特注にてバイトン等対応可)
質 量 10kg 8kg 16kg 13kg

●使用液温度範囲:5~100℃
●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子
●振動子コード長:3.5m + 出力コード 3.5m

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S Type | 槽タイプ

型式 WA-600-28S WA-600-40S WA-1200-28S WA-1200-40S
発振器 型式 WA-600-28T WA-600-40T WA-1200-28T WA-1200-40T
最大許容入力 600W 1200W
公称駆動周波数 28kHz 40kHz 28kHz 40kHz
有効輻射面 370x250 500x300
寸法
WxDxHmm
(突起部を除く)
外形 422x302x405
(ゴム足含む)
550x350x402
(ゴム足含む)
槽内 370x250x250(23L) 500x300x224(35L)
材質 槽:SUS304(特注にてSUS316L対応可)
ドレインバルブ Rc 1/2 Rc 3/4
質量 22kg 19kg 39kg 34kg

■付属品:フタ
●使用液温度範囲:5~100℃
●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子
●振動子コード長:3.5m
●オプション品:洗浄カゴ(KG10F、KG11T)

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SH Type | ヒーター付槽タイプ

型式 WA-600-28SH WA-600-40SH WA-1200-28SH WA-1200-40SH
発振器 型式 WA-600-28T WA-600-40T WA-1200-28T WA-1200-40T
最大許容入力 600W 1200W
公称駆動周波数 28kHz 40kHz 28kHz 40kHz
有効輻射面 370x250 500x300
ヒーター AC200V 単相
50/60Hz 2kW
AC200V 単相
50/60Hz 3kW
寸法
WxDxHmm
(突起部を除く)
外形 580x310x406
(ゴム足含む)
710x360x405
(ゴム足含む)
槽内 370x250x250(23L) 500x300x224(35L)
材質 槽:SUS304(特注にてSUS316L対応可)
ドレインバルブ Rc 1/2 Rc 3/4
質量 28kg 25kg 46kg 40kg

■付属品:フタ
●使用液温度範囲:5~100℃
●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子
●振動子コード長:3.5m
●オプション品:洗浄カゴ(KG10F、KG11T)
※ヒーターは水加熱専用です。水以外でのご使用はお控え下さい。
※ヒーターの駆動には別途電源が必要です。

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