ウェハ洗浄機

Possibility of ultrasonic

超音波の可能性

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概要

流水に高い周波数の超音波を乗せ、水の粒子を加速して洗浄するシステムです。
流水をウェハに照射することにより微細なパーティクルを除去します。
流水のため除去したパーティクルの再付着がありません。

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  • 自社製品

当社にて販売している商品。

この技術を利用した本多電子の製品

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流水式超音波洗浄機『Ｗ-357ＢＭ-1200』『Ｗ-357パルスジェットポイントタイプ』

超音波振動をクリーンな水流に乗せて洗浄するパルスジェット洗浄機。

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