W-357BM-1200 【高周波セパレート型】

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概要

特長

・デジタル制御により、安定した発振が可能です。
・多彩なインターフェースにより、洗浄装置に合わせた制御が可能です。
・1W単位での超音波出力調整が可能です。

用途

・磁気ヘッド洗浄
・シリコンウェーハ洗浄
・サファイアウェーハ洗浄
・半導体デバイス加工後の洗浄
・ハードディスク洗浄

仕様

発振器

型式 W-357BM-1200
発振方式 単周波発振
定格出力 1200W
公称発振周波数 1MHz
電源入力 AC200V〜240V
単相 50/60Hz 2400VA
表示 VFD(蛍光表示管)16文字x2行
インターフェース アナログ出力 4-20mA電流出力
接点出力 3点 アラーム出力、発振検出出力、電源ON出力
外部駆動入力 2点 センサ入力、リモート入力
RS485通信 MODBUS(RTU)プロトコル
外形寸法
WxDxHmm
360×360×143 
(突起部は除く、ゴム足を含む)
質量 7kg

●出力可変範囲:200W~1200W
●電源コード長:3m

高周波利用設備許可申請の届出が必要

振動子ユニット

ご要望に応じて、2.4kWや3.6kW仕様や、6インチ、8インチ、12インチ対応等の特注振動子ユニットの製作も承ります。

F Type | 振動板タイプ

8インチウェーハ用

型式 W-357BM-1200F
発振器 型式 W-357BM-1200
最大許容入力 1200W
公称発振周波数 1MHz
有効輻射面  272x154
外形寸法
WxDxHmm
(配線、配管を含まず)
355x245x68
材質 板:SUS316L 表面電解研磨
質量 7kg

●使用液温度範囲:5~85℃
●振動子:特殊PZT
●振動子コード長:5m x 2

S Type | 槽タイプ

6インチウェーハ x 2用

型式 W-357BM-1200S
発振器 型式 W-357BM-1200
最大許容入力 1200W
公称発振周波数 1MHz
有効輻射面  135x160 2ヶ所
寸法
WxDxHmm
(突起部を除く)
外形 496x336x372(ゴム足含む)
槽内 442x276x252
材質 槽:SUS316 パッキン:バイトン
ドレインバルブ 1/2インチ
質量 18kg

●使用液温度範囲:5~85℃
●振動子:特殊PZT
●振動子コード長:5m x 2

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