1MHzの超音波洗浄でサブミクロンのパーティクルを除去します
・磁気ヘッド洗浄・シリコンウェーハ洗浄・サファイアウェーハ洗浄・半導体デバイス加工後の洗浄・ハードディスク洗浄・ダメージの出やすいアルミや鏡面研磨品等の洗浄
・パーティクル ・フラックス・薬液
・デジタル制御により、安定した発振が可能です。・多彩なインターフェースにより、洗浄装置に合わせた制御が可能です。・1W単位での超音波出力調整が可能です。
●使用周囲環境：温度：5~40℃ 湿度：5~80％（ただし結露無きこと）●電源コード長：3m
高周波利用設備許可申請の届出が必要*1 MODBUSは、シュナイダーエレクトリックユーエスエーインコーポレーテッドの登録商標です。
ご要望に応じて特注振動子ユニットの製作も承ります。 ・最大許容入力：600W/1200W/1800W/2400W/3000Ｗ/3600Ｗ ・対応ウェーハ：6インチ/8インチ/12インチ
W-357BM-600F
●接液部材質：振動板：SUS316L●使用液温度範囲：5～80℃●振動子：PZT
●接液部材質：振動板、槽：SUS316L パッキン：PTFE 給水/排水用ニップル：SUS304●使用液温度範囲：5～80℃●振動子：PZT
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