圧電薄膜 ZnO(酸化亜鉛)
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圧電薄膜 (ZnO)
圧電薄膜は、サファイアや石英などの媒体に、スパッタ法により酸化亜鉛(ZnO)をC軸配向させることで得られます。
特徴
スパッタ法により薄膜を形成するため100MHz以上の高周波探触子が作製可能です。
水中センサとしての応用
作製可能周波数:100MHz以上、400MHz以下
端面に球面レンズを設けたロッド状媒体(音響レンズ)のもう一つの端面に酸化亜鉛(ZnO)をC軸配向させセンサを構成します。
媒体としてはサファイアや石英を用います。電気信号が酸化亜鉛(ZnO)で超音波に変換され音響レンズ内に平面波が伝搬し、音響レンズ端面の球面レンズで集束ビームに変換され水中に放射されます。
基本構造
![圧電薄膜基本構造 圧電薄膜基本構造](https://www.honda-el.co.jp/hubfs/%E5%9C%A7%E9%9B%BB%E8%96%84%E8%86%9C%E5%9F%BA%E6%9C%AC%E6%A7%8B%E9%80%A0.jpg)
製品応用例
超音波顕微鏡用探触子
標準仕様
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外形図(標準仕様)
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![圧電薄膜_試料 圧電薄膜_試料](https://www.honda-el.co.jp/hs-fs/hubfs/%E5%9C%A7%E9%9B%BB%E8%96%84%E8%86%9C_%E8%A9%A6%E6%96%99.jpg?width=800&height=347&name=%E5%9C%A7%E9%9B%BB%E8%96%84%E8%86%9C_%E8%A9%A6%E6%96%99.jpg)
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