HLF800シリーズ【超音波流量計】
[超音波計測機器  【 液体用流量計 】]

概要

DSP(Digital Signal Processor)を搭載、独自の信号演算により、安定した計測を実現

超音波を利用して、流体の流速を計測し、流速から流量を計算します。
流れの上流・下流にセンサを設置し、それぞれのセンサから正方向・逆方向に発信した時の超音波伝播時間差から流速を求め、流量に換算します。

○配管内に構造物がないため、圧力損失が最小の条件で流量計測が可能です。
○低流速から高流速までの広範囲を計測できます。


特長
 ●DSP(Digital Signal Processor)を搭載、独自の信号演算により、安定した計測を実現
flowmeter_bubble effect comparison

●1台の変換器で異なるサイズの検出器を2台接続可能
変換器1台に2台までの検出器を接続可能なため、複数箇所の流量測定を行う装置では省スペースで、コストパフォーマンスに優れています。また、異なる流体の流量測定だけでなく、異なるサイズの検出器を接続することもできます。 
HLF800 series_sensor
●表示部にはVFD表示を採用
ディスプレイにVFD( 蛍光表示管)を採用し、
視認性が優れています。【HLF820のみ】
HLF820_display
●高温薬液の流量計測に対応
近年の多様化した薬液・流体温度に対応。接液部は全てNEW PFAを採用し、耐薬品性に優れています。また、自社開発の振動子により、検出器は200℃までの流体温度に対応しています。(Kタイプ)
※04タイプは180℃までとなります。
picture_HLF800
●脱着可能なケーブルを採用。配線作業が容易
検出部からの配線ケーブルが脱着可能であるため、装置への取り付けをしてからスムーズに配線が行えます。また、ケーブルの長さは5mと7mから選択可能です。 HLFS cable
●RS-485通信によってPCでの遠隔監視が可能
RS-485通信を標準装備。管理ソフト(HLF800 Monitor)の利用で、パラメータ設定と計測データの読み出しがPC上で行え、遠隔での流量監視が可能です。  HLF800 monitor



用途
    • 半導体プロセスの純水・超純水の流量測定
    • 腐蝕性の高い薬液塗布などの各種薬液処理プロセスの流量管理
    • CMP(Chemical Mechanical Polishing)スラリー液の流量測定


仕様

検出器の型式

検出器形式

仕様

変換器

型式 HLF810
HLF820
計測方式 超音波伝播時間差方式
精度 ±1% F.S.(純水20℃) 
データ更新周期 0.01秒
電源 電圧 DC24V ±10%(21.6~26.4V)
消費電力 約4W 約5W
表示 - VFD(蛍光管)16文字x2行
デジタル入力 オープンコレクタ入力または無電圧接点入力 2点
積算値リセット、0点調整から選択
出力 4-20mA電流出力 2点
分解能:12bit(最大負荷抵抗 450Ω)
デジタル出力 オープンコレクタ出力(MAX35V/0.1A) 2点
比較、積算パルス、瞬時周波数、エラー出力から選択
インターフェース RS-485(MODBUSプロトコル、RTUモード)
32台連結可能(アドレスは1~32)
通信速度:9600、19200、38400、57600bps
ケース材質 ABS
使用周囲温度 0~50℃(結露なきこと)
質量 130g 230g
取付方法 DINレール パネル
 
    

検出器
型式 HLFS01-04
HLFS01-06 HLFS01-08 HLFS01-12
測定対象
超純水 / 純水 / 薬液
測定流量範囲
0~2L/min
0~6L/min 0~20L/min 0~50L/min
接続チューブサイズ 1/4" 3/8" 1/2" 3/4"
耐圧力
0.5MPa (0~90℃) / 0.2MPa (90~180℃)
流体温度
標準タイプ:0~90℃、高温タイプ:0~200℃
使用周囲温度
0~80℃
接液部材質
NEW PFA
質量
90g 110g 130g
160g
固有損失係数 3.7863 0.6937 0.1146 0.0138
各検出器の固有損失係数A(20℃の純水)
⊿P=AQ2     ⊿P:圧力損失[KPa]  A:固有損失係数  Q:流量[L/min]

変換器-検出器接続ケーブル

型式 HLFS01ケーブル 5m
HLFS01ケーブル 7m
材質
ETFE
長さ
5m
7m
質量
150g 210g




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