半導体産業用洗浄機器

製品のご紹介

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W-357BM-1200 【高周波セパレート型】

発振器と振動子ユニットで構成されるセパレートタイプの洗浄機。
バッチ式洗浄に向いています。
お客様の御要望に応じた振動子ユニットを製作致します。

 

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流水式超音波洗浄機 【高周波ポイントタイプ】

超音波振動をクリーンな水流に乗せて洗浄するパルスジェット洗浄機。
枚葉式洗浄に向いています。

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石英振動体型洗浄機 【高周波石英振動体型】

石英振動体に超音波を重畳させてウェーハやマスクを洗浄する洗浄機。
低ダメージ、高クリーン度を実現しました。

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